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气浮导轨的优点

【摘要】:
气浮导轨基于气体动压和静压的作用,实现了平稳的运动而没有摩擦和振动。气浮导轨具有运动精度高,清洁无污染的特点。由于其误差平均效应,可以使用较低的制造精度来获得较高的引导精度。通常与伺服驱动器和传感器结合使用以形成一个闭环系统,以实现高精度的位移定位。气浮导轨已广泛用于测量仪器和精密机械中。

气浮导轨基于气体动压和静压的作用,实现了平稳的运动而没有摩擦和振动。气浮导轨具有运动精度高,清洁无污染的特点。由于其误差平均效应,可以使用较低的制造精度来获得较高的引导精度。通常与伺服驱动器和传感器结合使用以形成一个闭环系统,以实现高精度的位移定位。气浮导轨已广泛用于测量仪器和精密机械中。

气浮导轨是由导轨座、溜板、节流器,如小孔节流器、毛细管节流器、、薄膜反馈节流器等以及供气系统及调节装置。

超精密工作台的常用导轨包括滚动导轨,静液压导轨等。滚动导轨已经使用了很多年。滚动导轨的运动精度达到微米级,摩擦系数可以降低到0.0020.003。滚动导轨的优点是滚动摩擦阻力小,没有滑动导轨的爬行或漂浮现象,但是滚动导轨摩擦系数大,抗冲击性差,运动不稳定,使用寿命短,是应用中缺乏的。与普通的滚动导轨相比,气浮导轨具有以下优点

1)导轨表面采用气体润滑,摩擦系数极小(约0.0005),可大大降低驱动力;

2)由于非接触摩擦,导轨磨损很小,寿命长,可以长时间保持制造精度,减少了维护工作量;

3)气膜具有误差均衡功能,可以提高导轨运动的精度;

4)气膜的厚度几乎不受速度影响,即使在极低的速度下,也不会爬行和平稳移动;

5)几乎不产生热量,不发生粘度变化,并且不需要冷却措施。