气浮导轨的优点

气浮导轨基于气体动压和静压的作用，实现了平稳的运动而没有摩擦和振动。气浮导轨具有运动精度高，清洁无污染的特点。由于其误差平均效应，可以使用较低的制造精度来获得较高的引导精度。通常与伺服驱动器和传感器结合使用以形成一个闭环系统，以实现高精度的位移定位。气浮导轨已广泛用于测量仪器和精密机械中。

气浮导轨是由导轨座、溜板、节流器，如小孔节流器、毛细管节流器、薄膜反馈节流器等以及供气系统及调节装置。

超精密工作台的常用导轨包括滚动导轨， 静液压导轨等。滚动导轨已经使用了很多年。滚动导轨的运动精度达到微米级，摩擦系数可以降低到0.002至0.003。滚动导轨的优点是滚动摩擦阻力小，没有滑动导轨的爬行或漂浮现象，但是滚动导轨摩擦系数大，抗冲击性差，运动不稳定，使用寿命短，是应用中缺乏的。与普通的滚动导轨相比，气浮导轨具有以下优点

（1）导轨表面采用气体润滑，摩擦系数极小（约0.0005），可大大降低驱动力；

（2）由于非接触摩擦，导轨磨损很小，寿命长，可以长时间保持制造精度，减少了维护工作量；

（3）气膜具有误差均衡功能，可以提高导轨运动的精度；

（4）气膜的厚度几乎不受速度影响，即使在极低的速度下，也不会爬行和平稳移动；

（5）几乎不产生热量，不发生粘度变化，并且不需要冷却措施。